Equipment diagnostic system
提高製品品質
類比資料區
控制信號區
測定線
Y1軸
Y2軸
測定區間
測定差
製品進入
製品離開
最佳製品數值
目前製品數值
重疊比對分析→調整製程
演算對象
演算範圍
最小/最大/平均/分散等
統計處理
原始DATA
DATA演算式
移動平均
積分
微分
演算指定
提高製品良率
生產開始信號ON(共3次)
3次生產的溫度重疊比對:相當安定
3次生產的電流重疊比對
製品搬入信號ON(共3次)
異常監視對象
生產開始
監視開始
生產結束
監視結束
High設定
Low設定
生產中發生不良品警報 →發現第一設備環境數值不安定
其他裝置的變數平穩的變化
提高生產效能
未使用過的正常生產
使用後洗淨1次再生產
使用後洗淨2次再生產
使用後洗淨3次再生產
Y1軸:常數
Y2軸:Log
閥門打開
PIG氣體
IG氣體